特種氣體硅烷系統設計室外分配系統要求：
1、硅烷分配系統的設計是一個帶有遙控的自動化的外部鋼瓶并聯或配送架系統。
手動系統需要進行安全操作的評估， 對于硅烷系統應該考慮自動遙控操作。 遙控操作的目的是在流程開始期間確保人員不會有暴露于硅烷的可能。 還可以通過使用視頻監視器來獲得遙控能力。按照當地的建筑物和火災規定，配送系統應該坐落于遠離建筑物、 街道和地界線的隔離區域。 在裝置的兩邊可以使用防火墻。 防火墻還要允許裝置周圍的通風，提供一些額外的暴露保護。配送系統的上方應 該有屋頂或遮蓬；但是必須采取措施，防止在發生泄露時限制硅烷。要通過使用鐵絲網或類似的障礙物來保護儲存和配送區域，限制人員接近。受保護區域要滿足所有的生命安全法規對出口的要求。應該監測該區域，使用氫化物監視器來探 測泄露和排放，使用紫外/紅外監視器來檢測起火。兩個監視器應該互鎖（失敗安全） ，在監測到泄露或起火時切斷硅烷氣流。監測系統應該配備有備用或緊急 電源。 必須有遙控緊急切斷裝置來在源頭處切斷硅烷氣流。噴淋系統或消防用水只能用來冷卻鋼瓶，不能用來滅火。
2、氣體管道的管道系統是316或316L無縫不銹鋼，具有焊接結構，額定壓力為運轉壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到額定壓力之間用氦檢漏。系統應該全部是焊接的；但是，由于維護和替換系統組件的需要，可以使用適當安裝的機械裝置。 應該把機械裝置保持在小的數量，而且不應用在它們會受到旋轉或震動力的地方。 應該周期性地和在任何一次對它們進行操作之后對這些裝置檢漏。 在控制板和使用點之間的配送管道應該是帶有內層空間監控的雙層管道。在硅烷系統和氧化劑之間不能有任何互相連接的管道。
3、 不允許在含有硅烷的系統上使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。 在所有的配送系統上都應安裝流量控制閥或流量開關， 以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個切斷閥應該盡可能接近氣源。
4、推薦的調整器是帶有不銹鋼橫膈膜的橫膈膜調整器。所有調整器都應該配備一個帶罩的通風孔， 通風孔要能夠經受住橫膈膜破裂，把逸出氣體排放到合適的安全的區域。
5、推薦的鋼瓶應該用鋼制成，鋼瓶閥門應該有一個流量限制孔，孔的直徑為 0.010 英寸。不銹鋼瓶使用 DISS 接頭，但也可以用CGA350 。鋼瓶上要顯示出安裝了流量限制孔。對于遙控操作，推薦使用氣動鋼瓶閥或鋼瓶閥控制器。 氣動閥門或閥門控制器應當是有故障則關閉的設計。 鋼瓶閥門和撓性閥門控制器應當是有故障則關閉的設計。 在連接到系統之前，應當總是用眼睛檢查鋼瓶閥門和撓性閥門控制器是否有泄露或缺陷的跡象。應當根據使用的鋼瓶閥門的類型， 遵守被推薦的特殊的開啟程序，慢慢地開啟閥門。
6、在室外配送系統上，應當用不可燃隔離物把鋼瓶彼此隔離開。隔離物應該在鋼瓶閥門下面， 從控制板頂部伸出來18英寸。使用的鋼瓶數量要控制在運轉所需的小數目。
7、在硅烷設施中，所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標簽，說明它們的用途。管道上的標簽應當說明氣流方向和氣體類型。
8、每次更換鋼瓶之后，要對系統檢漏。方法是使用惰性氣體的高壓保持檢測和或使用氦混合物作為凈化源的外部氦檢漏。 在鋼瓶接頭處或任何接頭的完整性值得懷疑的地方，還可以用手持式電子探測器來檢測是否存在硅烷泄露。
9、凈化應當使用專用的惰性氣體鋼瓶。每一個凈化氣體鋼瓶系統都要配備合適 的調整器、減壓裝置和低壓報警器。在可能的地方，凈化氣體鋼瓶的壓力要維持 在高于硅烷鋼瓶壓力的水平上。 應當備有多余的止回閥，以防止凈化氣體鋼瓶對過程氣體的污染； 還應當有一個額外的隔離閥作為重復的保護。室內氮氣系統不能用作凈化源。 除非得到了你的鋼瓶氣體供應商的明確指示，不要返還可能已污 染的凈化氣體鋼瓶。 如果懷疑硅烷回流入氮氣系統，應當將其視作含有硅烷的系統。對于并聯排氣，應當使用硅烷和硅烷混合物專用真空源（泵或文氏管），而 不是“室內”真空系統。
10、 硅烷和硅烷混合物排氣系統應該獨立于其它氣體排氣系統。由于存在通過系 統的固定慣性氣流，要設有防止回流裝置。應當檢測和互鎖該氣流，以防止在排氣系統沒有工作的情況下的排氣。 硅烷排氣系統應該或者終止于一個廢氣處理系統，或者在一個安全的區域直接排到戶外。對于硅烷混合物，所需要的廢氣處理將隨混合物中存在的其它氣體的不同而變化。廢氣排放應當遵守所有的聯邦、州 和當地的法規。