現代社會里,氣體是不可或缺的一個重要組成部分。在衣食住行的各個環節,幾乎都離不開氣體。以芯片制造廠為例,他們在生產芯片的薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積和擴散過程中,就少不了電子氣體。不同領域對氣體的要求不一樣,給供應商提出了極高的技術要求。在發展多年之后,全球的氣體供應以四大供應商主導,分別是林德集團、法國液化空氣集團、普萊克斯和空氣產品公司。
2017年全球四大氣體巨頭營業利潤及營業利潤率對比(單位:億歐元)
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氣體如此重要,甚至連它們的提取、儲存、運輸和轉充都給人帶來了極大的神秘感。為了對這個產業有更多的了解,半導體行業觀察記者近日走訪了林德集團在中國的幾家工廠,為大家揭開其神秘的面紗。
空氣分離裝置是根本
行內的人都知道,林德集團創始人卡爾林德的一大貢獻就是發明了空氣液化分離。
公開資料顯示,1895年,德國人卡爾·林德研究成功了一次節流循環液化空氣的方法,這是簡單的深度冷凍循環。它采用節流膨脹和逆流換熱,稱為林德循環。1902年,德國林德公司制成了第一套林德循環單級精餾工業裝置,自此開始了林德集團在氣體領域的偉大征程。